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用語集
おんきょうけんびきょう(音響顕微鏡)
おんきょうけんびきょう(音響顕微鏡)
音響顕微鏡は、超音波で物体の内部・表面を高分解能観察する装置です。半導体検査・生体観察で活用されます。
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特徴
非破壊観察
表面下の構造も可視化。
応用
半導体ボンディング検査、細胞観察。
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